唐华、王大衍、黄坤在光刻机厂，两人看着刚组装好的生产线唏嘘。

“从运输成本最小化来说，应该是把光刻机运到南方，比如说上海，在那里组一条试验生产线。但光刻机太重要了，而且是刚试制出来随时需要调整和改进，所以只好让其他机器设备的厂家把自己的东西往长春运了。”

去年，王大衍和长光制成了光刻机的核心器件之一——工业激光配用的高精度透镜系统。这也是最后一个拦路虎。透镜系统解决，制造一台非接触式底板（掩膜）的光刻机就不存在拦路的技术瓶颈了。

王大衍：“我们单独试运行过光刻机，曝光试验表明它的潜力可能不止10微米制程。”

黄坤：“光刻机领先了半步，没关系，你们先等等，让底板的工艺赶上来。”

唐华：“非接触式光刻机，底板的制作工业也可稍作修改，现在在底板里掺入了一些耐磨成分，以后就可以去掉了。不过，为了再延长底板的寿命，底板的基质里或许可以掺入耐光热的材料。”

王大衍：“光刻机和底板的工艺都赶上来了之后，短板就变成了……”

黄坤：“短板就变成光刻胶配方和涂覆工艺了。”

唐华哈哈笑道：“各自管好各自那摊子事就行。而且，记住我们现在手头的工作：这几天把这个生产线全套运转起来。”

……

生产线装配完毕，车间封闭。彻底清洗，无尘环境启动。空气过滤器和气体交换系统嘶嘶地发出声音，将空气中的尘粒含量降到标准线以下。

唐华等三人和几名工人换上封闭工作服，戴上面罩，走进车间。

光刻机的车间大概是现在地球上最洁净的空气，恒温、恒定湿度，但不是说它没有味道。浓浓的化学药品品味直冲鼻孔，这是从抚顺运来的单晶硅片在进行最后的表面化学清洁。

在光刻机那儿，工人拿出装底板（掩膜）的小匣子，从北京运来的底板被小心翼翼地安装到位、卡死，又用仪器反复测量它的安装精准度和水平性。

“第一次，就两百片吧，我要看看这台机的良品率变化。”唐华说。

芯片生产线运行起来，有高频的噪声，但几乎没有震动。

震动和低频噪声（同样说明机器在震动）对芯片生产是大麻烦，机器本身肯定会尽量避免震动。实际上芯片生产线也尽量要求建在地震很少的地方。

就在小声但很尖利的噪声中，100毫米直径的单晶硅片被涂覆上了光刻胶，进入生产线开始流转。

“老王，可别忘记了，新的光学透镜系统，要想办法把光柱直径加到150毫米，”唐华说，“抚顺那边，150毫米直径的单晶硅柱其实已经合格了。”

王大衍：“我们在做150毫米的设计和做工艺标准手册。……100毫米到150毫米，可又是一次艰苦战斗。”

……

单晶硅圆片在组装好的生产线间流动，一台机器再过到另一台机器。

到下午，第一片硅片走下了生产线，接着第二片、第三片……几乎是哗啦啦地往外出。把200片硅片全部吐出来，生产线停机了。

测试生产就是这样。如果这条生产线全速开动起来，一条线就能满足1954年全世界（其实是中国和苏东）国家的计算机需求。

“本来我是想拿X5404芯片的底板来做测试的，”唐华说，“但是测试X5404的良品率可就没那么简单，那样我们还得往长春运一组技术工人，一个封装车间。”

既然这样很不划算，那不如做一个简单的、但也能测试每一块硅晶圆的良品率的玩意。

唐华用工具夹起一块硅片，上面印刷着几十个相同的图案。把这片硅片夹到一台仪器上面，启动仪器，就自动伸出一个接头，贴在硅片上，对准硅片上的小图案。

这是车间中的一个单独隔间，昏暗如冲印胶卷的暗房。唐华掏出一个标准的强光手电，打开，让光线照在硅片上。

仪器上用来测试的一个小灯泡亮了起来。

唐华把强光手电的按钮按了两下，手电发出的光强降低了两档。

仪器上的小灯泡也变暗了许多。

唐华关掉手电，仪器的小灯泡完全黑了。

“哦霍？”黄坤说，“爱因斯坦的光电效应？”

唐华：“比那要简单得多，Photovoltaics，光生伏特效应。”

达文西的太阳能手电，不对，光伏效应，是1839年发现的。

1883年，查尔斯。弗瑞兹在硒片覆上一层极薄的金层，制成了第一块光伏电池——硒和金箔形成了半导体金属结，不过只有1%的光电转换效率。

想要普及开来，那就不能用硒和金箔这种贵重的东西了。在硅中掺入一定量的特定杂质也可以有光伏效应，而且转换效率比金箔高得多。

……

用来测试光刻机的良品率，算是光伏电池的一个另类应用……

只要测测一块硅片在已知光强下生出了多少电流，和理论值的差距是多少，立刻就知道了光刻机/芯片生产线加工这块硅片的良品率。

而如果刻一批X5404，你还得逐个测试一块硅片上的几十个处理器都有多少个能运转，有多少个是废品。