在这里,唐华、王大衍、总工先去更衣室,换衣服换鞋、清洁全身、戴泳帽、戴口罩,就跟在隔壁光刻机工厂进入生产线时一样。
第一台非接触式光刻机昨天试运行时的工艺制程是10微米,和现在北京、上海的上一代生产线一样,不过这台光刻机还有提升的潜力,或许可支持7微米甚至5微米制程。
这个无尘精抛室里面,镜面加工的精度要求是1微米。
因此不得不把车间做成绝对无尘的洁净环境。灰尘、烟雾、头皮屑甚至口水都有可能报废已加工了几个小时的高精密抛光面。
三人进入无尘精抛室,新设备也带进来了,唐华和王大衍一人拉一个小车往车间的工作位走。
“长光为光刻机系统生产至关重要的零件。你们生产产品的工艺标准,可以说在很大程度上决定了光刻机所能达到的工艺天花板,也就决定了我们的计算机系统有多先进。”
唐华对总工说话。
“换句话说,我们的计算机系统的技术进步或者技术革命,必须建立在长光、长光七车间的技术进步、技术革命之上。”
“好在当今工业体系的每一个类别每一个部门相互之间都是有联系的。就像我刚才说的,光学仪器生产厂和计算机产业已经产生了联系,但我要强调的是,光学仪器和计算机产业的联系不是单向的,而是双向的。”
“光学仪器生产厂为计算机产业提供了工作母机,相应地,计算机产业也能反过来支持光学仪器厂,帮助你们技术进步、技术革命。这算是反哺,也算是产业技术进步的大回旋。”
到了精抛室的抛光工位,唐华和王大衍将小车停下来,整理两台小车上放置的设备:
激光平面干涉测量仪。
……
“激光平面干涉仪是一种非接触式、高精度无损光学表面测量设备。它基于菲索干涉也就是移相干涉原理,通过分析干涉条纹来确定光学表面面形。”
“激光平面干涉仪可以用于高精度的平面面形、球面面形曲率半径测量和分析。可以做平面楔角测量,也就是给直角棱镜测量直角偏差。其实它也能测量任意角度的加工偏差。还可以做光学材料均匀性测量,角锥角度和面形偏差测量……其实你们厂特别是七车间很多地方都能用到它,你们看到的是第一台产品,接下来苏州方面会有十几台干涉仪往长春送。”
唐华现场向总工、车间主任、技工们讲解激光平面干涉仪的原理和结构。
“这是激光平面干涉仪的主机,包含高精机械调节架、氦氖激光电源、倍率成像测微系统。这是透检工作台、这是300毫米的光学平面样板。”
“这是计算机工作台,有一台工业计算机、一台影像系统和一台14寸的显示监控系统。”
几个人在唐华的指挥下一起动手,将抛光车间工位上原来的光点目视量具、微米级螺旋测量尺拆到一边,组装激光平面干涉仪。
“我看看,上一工序结束后,刚才你们记录的镜面读数是多少……就拿这个做参照吧。”
正在加工的镜片固定在该固定的地方,侧准,打开激光平面干涉仪。
监视器上显示出了亮亮的圆斑,中间有一些条纹,上面的文字说明也加载上了:
M1;M2。
M1和M2是两个波面,一个入射波一个反射波。它们之间存在一个楔角,当两个波面叠加相干时,会得到几个等间距的平行直线干涉条纹。如果被检平面存在曲率,反射波M2就会产生一些偏离,这时候它与入射波M1的干涉条纹就弯了。
干涉仪在镜片表面上扫过去,亮亮的圆斑的条纹显示出镜面的曲率。扫了没多久,镜面的瑕疵就被找到了:圆斑的条纹不是直的也不是圆弧,而是抖了一抖。
再继续扫下去,监视器上读出了这个镜片曲率的总读数,这个数字可以与设计镜片时的理论数值做对比,看看还有没有什么应该做大调整的。
……
“这个可是神器!”从无尘精抛室出来,总工头还是晕乎乎的,不是因为无法理解干涉仪的原理,而是太兴奋血压升高闹的。“有了它,一微米算什么呀。”
唐华:“这一台激光平面干涉仪,它的理论测量精度是0.05微米,50纳米。当然你们初使用时可能无法完全发挥它的效用,但如果熟练掌握了干涉仪和分析计算机的使用技巧,并对抛光工艺流程也做一些调整,那么是可以达到这个目标的,而且加工镜片的速度也会明显加快。”
总工:“这就是反哺,我总算是明白了。”
……
“这个车间进去也是要脱鞋脱衣服的吧?老王,不如我们就在外面看看,不进去算了。”
在光纤厂的光纤拉制塔外边,唐华对王大衍说。
王大衍:“我也不想进去了。现在一切运行得很好,我也没觉得有什么需要改进的。”
唐华:“我们绕到后面去看第二座塔的工地。”
光纤厂第一车间(一号塔)投产两个多月了,现在光纤通信线的搭建有点疯狂。去年吉林就申请修建一条更长的光纤通信线路:从长春到吉林的光纤。之前长春市邮电局到长春机场的线路才20公里,太短了。
不是计算机数据通信网,而是电话和有线电报的综合通信线路,电报信号和电话语音在经过调制解调器后送入光纤传输,一条光纤可同时接通几百路电话,比铜缆线强无数倍。长春到吉林的长途电话、电报通信需求很高,毕竟工业化程度较高的城市。如果在这100公里铺上光纤通信线,立刻就可以省掉一百多吨的电缆。
这电缆可都是铜啊。
到今天为止,长春到吉林的光纤已经铺好了……
在长春到吉林的光纤正在铺设时,两条半新的光纤线路也规划完毕:北京-天津-唐山-沈阳-长春-哈尔滨是一条,从沈阳到大连的支线算半条。北京-济南-南京-上海是另一条。
只要一提到可以省铜,从中央到地方都是两眼放光,工作效率高得爆表,况且光纤就算用现在的成本标准,也比一大捆铜缆线要便宜。于是,还没等唐华提出“计算机信息高速公路”的概念,光纤工程先在邮电部门轰轰烈烈地铺开了。
“我出差前在北京看到一份日本报纸,”唐华说,“那个日本作者说,小道消息显示美国计算机的技术突破是来自于谍报收获,技术原出处是中国。这个日本人的小道消息很准确嘛。但接下来的文字有一条他说错了。他说美国计算机的技术来自中国,中国计算机的技术根基在上海。他错了,长春才是计算机技术的根基所在。”